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新能源及节能技术
Si基MEMS红外光源制造技术
更新时间：2011-06-22
Si基MEMS红外光源具有很多优点：
1、光源具有体积小、能耗低和寿命长的特点。根据不同的使用目的和要求可封装成标准的单个和陈列器件，即插即用，方便可靠。
2、光源可在连续工作模式和脉冲模式下工作，高调制特性可实现编码调制的隐蔽工作方式，因此在军事目标敌我识别上有较大应用前景。
3、光源可实现低成本大批量的制造。使用了特殊的晶片以简化红外光源的光学衬底的生长工艺，可与现在的COMS工艺相兼并，生产成本低，提高了产业化的可能。
4、该光源通过技术扩展可实现窄带发射和波长可调谐的特点，可用来实现特种气体探测芯片的制造。
5、绿色、环保、无污染光源。已申请4项中国发明专利。
单位：厦门大学
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